被譽為「浸潤式微影之父」的前台積電研發副總林本堅，退休後投入人才培育，2021年底受邀接任清華大學半導體學院的院長。儘管每天就像在台積電一樣忙碌，他卻也甘之如飴，只為協助台灣，培育具備「三才」能力的新生代半導體領袖。
2021年，台灣通過相關人才培育創新計劃，鼓勵產學合作成立研究學院，而率先催生出清大半導體研究學院、陽明交通大學產學創新研究學院、成功大學智慧半導體及永續製造學院，以及台灣大學重點科技研究院。為的就是要確保長年來扮演台灣「矽盾」的半導體產業，不因少子化等社會結構的改變面臨人才問題。
從半導體產業退休投入學界，林本堅現任清華大學半導體研究學院院長。
(攝影：鄭伃君)
林本堅曾在IBM工作22年、接著在美國創立Linnovation (譯為領創)公司擔任總經理，而後於2000年受時任台積電研發副總蔣尚義的邀請，加入台積電帶領微影技術研發團隊；歷經無數的歷練，領導這件事對他來說，並不陌生，但要從零開始成立一個學院，卻是未曾有過的嘗試。「我們是草創從零開始，很多條例的設立、委員會的籌組、招募老師、招生等事務，也遇到很多想像不到的事。」他說。
為了半導體學院，林本堅這一年多來忙得不可開交，時間大多被教會及學院的工作填滿，再來就是把握時間維持運動的習慣，「已經沒時間做別的事了，我都跟一個從台積電一起來的同事說，現在的忙碌程度跟在台積電時一樣。」即便辛苦，當談到為人師表、傳承經驗時，他總是面帶笑容，在在顯露出對這份工作的熱忱，「我不覺得這是苦差，就是在工作中找到興趣，看見學生進步更是很高興的事！」
興趣成就林本堅的偉大 他也鼓勵學子找到樂趣
興趣，讓已經超過80歲的林本堅，享受在為半導體學院奔波的忙碌中，這也是成就他能有如今地位的重要關鍵。畫面回到1959年，該年畢業於台灣省立新竹中學(現新竹高中)的林本堅，因為對物理和數學的興趣，考上台灣大學電機工程系及選擇到美國俄亥俄州立大學攻讀電機工程學博士，其中一個原因是基於對電磁波的興趣，以「全相術」做為博士研究題目，更是源於自小對攝影的熱愛。
林本堅在他的自傳《把心放上去：「用心則樂」人生學》中寫道：「我知道了全相術，別的題目都不要做了。因為我非常喜歡攝影，現在有辦法把立體的影像準確地保留下來，真是非常有意義。」之所以喜歡攝影，他以一句話簡單明瞭的回應，「喜歡捕捉美。」轉向鑽研全相術，如今看來，對他而言可說是相當關鍵的一步。
自俄亥俄州大博士畢業後，林本堅本想到柯達、Itek等當時專注光學研究且規模較大的公司，IBM意外的出現，成為他跨入微影技術(Photolithography)的第一步。在IBM的22年，他從最初寫設計鏡頭的程式，到後來研發深紫外光(deep UV)微影技術，過往的累積，在在化做他的養分，有了這些養分，也才有後來對半導體產業、對台積電都至關重要的革命性創新浸潤式微影技術問世。
「不喜歡你的工作，做起來就像是負擔(Loading)，喜歡的話就不是，是做得很開心，」能在這條路上不斷創新和堅持，林本堅始終強調，要在工作中找到樂趣，如今在學界，他也不時鼓勵學生要找出興趣，「一切出於動機，得到動機就會推動自己持續努力，如果找到興趣就可以做得更好，那就不得了了。有心想找出興趣，你就會找到它。」
成為「活才」才有源源不絕的創新
林本堅的另一個成功關鍵，在於把知識學「通」，而不僅只是透過背誦去記住，「我數學從來不需要溫習考試就去考，一直到初中都是這樣，我也鼓勵學生把這些知
識學通，學通就一輩子忘不了。」就好比我們為何中文說得比英文好，便是自小在中文的環境牙牙學語，自然學會了母語，他表示，這也是學院現在的重要目標，「鼓勵學生有做活才的意願，不只是念書背知識，而是能學新的東西解決新的問題。」
養成解決新問題的能力與開闢新領域的創意，從面對各式挑戰中學習成長，也就是清大半導體學院期望畢業生扮演「活才」要具備的能力。學院官網上刊載的願景，明確點出目標是要養成具備活才、通才及專才三大能力的畢業生，活才之外，專才所指為能掌握特定領域的高深學問；通才是要有廣大的視野和半導體的通識，以便促成溝通協作。
人工智慧(AI)、物聯網(IoT)等前瞻技術不斷演進，對IC運算力的需求越來越大，AI運用的運算力更是每3~4個月就會翻倍；諸多前瞻技術要持續前行，同時要符合節能減碳的趨勢，半導體技術的持續升級是勢在必行。對未來要進到半導體產業的人來說，林本堅認為，現在許多技術看起來都不錯，要能看見現有的技術，並以良好的數理能力為基礎去創新，就是未來人才最重要的能力和任務。
能從學界發起創新突破，則是同時身兼清大和台積電聯合研發中心主任的林本堅，其中一項期望能在學界做到的事。他表示，相較產業界，他們是全時間投入教育，雖同時要顧及產業界的需求，但不能完全做企業界的工具，因為這樣會限制了創意，必須看在產業界的前面，「有些事情他們覺得不一定要做，我們覺得該做就要做，尊重眼光但不能完全配合，完全配合就沒有眼界了。」
然而，創新是維持產業競爭力的源頭，台灣的大環境卻似乎限制了學子的想像力；林本堅也在自傳中提及：「社會豐裕反把子弟發展創新和有健全童年的機會剝奪了。」訪談時，他不諱言這樣的制度，將對成為活才帶來阻礙，應廢除補習，讓學生不只是考試，而是有時間發展興趣，能滿足自己的好奇心，去幻想、想像自己的理想，家長是要從旁觀察，給他們合適的發展空間，「體制需要改變，對的事情不怕變，大家要一起討論找到最好的方法。」他說。
林本堅並建議學生，應培養更好的英文能力，他舉例，先前有口試學生，自我介紹用全英文，但一用英文問問題就愣住沒辦法回答；有一門課班上有幾個印度學生，他試著用英文授課，也有很多學生反映聽不懂。他指出，英文在科技領域非常重要，因為要國際溝通，無論技術上、買賣上還是看其他技術文獻，都要用到英文，現在有很多管道可以學習，應把英文訓練好，能聽、能講也能寫，更重要是講英文的時候要用英文的邏輯思考，以後才能國際化。
盼畢業生都是半導體產業領袖
歷經一年多的努力，清大半導體學院除了林本堅，還有來自台積電的高蔡勝任半導體學院製程部主任，艾司摩爾(ASML)副總嚴濤南、台積電卓越科技院士暨副總余振華等業界師資助陣，加上清大原有的師資，並斥資新台幣7億元在清大後山打造清華實驗室，各方面逐漸上軌道。今年首屆的碩士生加博士生，招生約100人左右，吸引高達600多人報考，報名相當踴躍，學院預計招生到500人規模，另也正在評估最快第三屆開始招收國際學生。
林本堅擘劃新夢想，盼畢業生都是半導體產業領袖。
(攝影：鄭伃君)
當前首批學生在課堂上所展現的特質，讓林本堅難掩喜悅之情。他透露，在書報討論的問答環節，一般來說可能都不是太踴躍，不過這屆學生還不錯，「問答環節20幾分鐘不僅問出10幾個問題，每個問題問出來也都很有深度，甚至有學生一問，台上講師就大讚『這就是下一步我們要做的事』。勇於提問、問題又有深度，對業界是好事。下一批學生從備審資料審查和口試看來，素質又比第一屆更好。」
林本堅在半導體產業取得舉足輕重的地位，同時也是中央研究院首屆工程科學院士、美國工程院院士、IEEE (電機電子工程師學會)會士及SPIE (國際光電工程學會)會士，但人生路途中不斷挑戰和創新的他，自2015年從台積電退休後，並未停下腳步，全心奉獻給學界，如今又譜寫出另一段人生新篇章。雖然疲憊，不過能將理念和所學傳承下去，陪伴著學生共同成長茁壯，就是他現在最大的成就感和愉悅感的來源。
林本堅鼓勵學生勇於挑戰，已白髮蒼蒼的他，也同樣在挑戰自己的可能性。他以培養出掌握技術、管理和經營的能力，具備Integrity (正直)、Innovation (創新)、Commitment(承諾)、Teamwork (團隊合作)及Communication (溝通)等五大特質的半導體產業領袖為己任，期望用另一種角色，為台灣培育出一個又一個優秀的人才，共同支撐半導體產業這座神山持續壯大，邁向永續未來。
本文同步刊登於《電子工程專輯》雜誌2022年12月號
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